255 : 日出づる処の名無し : 2007/11/14(水) 02:49:00 ID:cVz83URo
>>252
横レスだが、
半導体材料 ウェーハーはシリコンなのは変わらない。
MOS トランジスタ(Metal Oxide Semiconductor)の
METAL ゲート電極    ポリシリコンなど→メタル    
Oxide ゲート絶縁膜   SiO2→HfO2
Semiconductor 半導体基板   シリコンのまま
勘違いなさらずに。ハフニウムは膜を体積させるガスソースで使うと思う。

【政治経済】平成床屋談義 町の噂その39 * c

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